管式退火炉真空退火炉_青岛晨立电子有限公司

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·扩散炉

管式退火炉真空退火炉

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详细说明

退火炉

主要技术参数

◆工艺管数量：可根据客户需求制作为1-4管

◆工艺管口径：Φ90-360mm（3～12英寸）

◆结构型式：卧式热壁型或立式

◆工作温度范围：400～1280℃

◆气体流量设定精度:±1％F.S

◆气路系统气密性： 1×10-7pa.m3/s

◆恒温区长度及精度±0.5℃/1080mm

◆工艺均匀性:≤±5％（30~60欧姆）

◆超净工作台：净化等级：100级（万级厂房）

噪音：≤62dB（A）

震动：≤3μm

◆控制方式：工业微机控制

◆记录工艺曲线数量及工艺步数不受限制

退火炉用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件、光导纤维等行业中进行扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺，其关键部件全部采用进口部件，仿国外热处理制造技术，已经被中科院、国内各大院校、国内多家厂家选为长期供货商，可根据客户不同需求定制，厂家直接供货。

我公司可根据客户需求个性化定制实验室科研退火炉、管式退火炉，管式真空退火炉、管式扩散炉、管式烧结炉、管式合金炉等高温电炉，厂家直接供货，欢迎广大用户来电咨询。

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中国山东即墨市山东省青岛市即墨区泰山三路285号联东U谷即墨科技创新谷3号楼

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