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扩散炉
SIC高温氧化炉-氧化扩散炉-科研电炉 晨立电子
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详细说明
扩散炉系列设备用途:用于大规模集成电路、太阳能电池片、电力电子、光 电器件、光导纤维等行业的氧化、扩散、烧结、合金等工艺。 设备特点:单元组合方式。根据工艺的不同,可以在主机的基础上配气源柜、超净工作台、悬臂推拉舟等。
主要技术指标:
★ 炉管数: 1~4管
★ 配工艺管口径:Φ90~360 mm (3~12英寸)
★ 恒温区长度: 760~1000 mm±1.0℃ (300~800℃) 760~1000 mm±0.5℃(800~1280℃)
★ 单点稳定性: ±1.0℃/24h (300~800℃) ±0.5℃/24h (800~1280℃)
★ 气源路数: ≤7路,可配恒温源瓶、氢氧合成点火器
★ 气体控制: 浮子/质量流量计
★ 悬臂舟参数: 速度: 20~1000 mm/min *大行程:2000 mm 定位精度:±1 mm *大载荷:17 Kg
★ 超净工作台: 净化等级:100级(万级厂房)噪音: ≤62dB(A)振动: ≤3μ
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中国山东即墨市山东省青岛市即墨区泰山三路285号联东U谷即墨科技创新谷3号楼
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266200
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