商业机会 产品大全 企业名录 我商务中心 | | 手机站 网址：chenlidianzi.qy6.com 卧式6寸两管退火炉_青岛晨立电子有限公司
首  页 公司介绍 产品展示 供求商机 诚信档案 联系我们
青岛晨立电子有限公司
联系人：姜经理 先生 (销售)
电 话：0532-88533525
手 机：13869885308

产品目录

卧式6寸两管退火炉

　 留言询价
详细说明

    卧式6寸两管退火炉供大规模集成电路、MEMS 生产线用做6"硅片的合金、氧化、退火、烧结、扩散等工艺使用。同时也可下沉工艺，完成4寸wafer 的相应工艺。

一、设备结构:

1、操作方式:左(右)手操作方式

2、硅片尺寸:圆形6寸片

3、工艺布局:满足客户工艺要求

4、自动化程度:工控机控制系统自动控制工艺流程

5、送取片方式:手动进出舟。

6、外形:主机1台，主机架为卧式两管。

二、主要技术参数:

1、加热炉管有效口径:满足6英寸硅片。可向下兼容5寸和4寸硅片。

2、工作温度范围:上管:600~1400℃

          下管:200~500℃

3、恒温区长度及精度:600mm，

    上管:800-1400℃.±0.2℃/24h

    下管:200-500℃.±0.2℃/24h

4、控制方式:由工控机统一管理工艺

5、气路设置:每管两路气体:氮气100L/min.氩气100L/min。均采用MFC自动控制流量大小。

 
青岛晨立电子有限公司
姜经理 先生 (销售)  
电　　话： 0532-88533525
传　　真： 0532-67720618
移动电话： 13869885308
公司地址： 中国山东即墨市山东省青岛市即墨区泰山三路285号联东U谷即墨科技创新谷3号楼
邮　　编： 266200
公司主页： http://chenlidianzi.qy6.com.cn(加入收藏)
 


其它产品信息
 1 直接到第 页
共 31 条信息，当前显示第 1 - 31 条，共 1 页

公司首页 | 公司介绍 | 产品展示 | 供求商机 | 诚信档案 | 联系方法 | 加入收藏
青岛晨立电子有限公司 公司地址：中国山东即墨市山东省青岛市即墨区泰山三路285号联东U谷即墨科技创新谷3号楼
姜经理 先生 (销售) 电话：0532-88533525 传真：0532-67720618
免责声明： 以上所展示的信息由会员自行提供，内容的真实性、准确性和合法性由发布会员负责，企业录对此不承担任何责任。如有侵犯您的权益，请来信通知删除。

机械 仪器 五金 电子 电工 照明 汽摩 物流 包装 印刷 安防 环保 化工 精细化工 橡塑 纺织 冶金 农业 健康 建材 能源 服装 工艺品 家居 数码 家电 通讯 办公 运动、休闲 食品 玩具 商务 广告 展会 综合
提供服务支持 © 企业录 | 移动端